"

新利18体育|首頁(欢迎您)拥有全球最顶尖的原生APP,每天为您提供千场精彩体育赛事,新利18体育|首頁(欢迎您)更有真人、彩票、电子老虎机、真人电子竞技游戏等多种娱乐方式选择,新利18体育|首頁(欢迎您)让您尽享娱乐、赛事投注等,且无后顾之忧!

                                "
                                产品中心
                                专注于先进光电技术应用,为光通信、工业与科研用户提供专业的物料选型、核心器件供应以及系统方案支持

                                产品中心

                                光通讯产品

                                科研与工业产品

                                技术方案产品

                                超厚热氧化层硅片
                                所属类别:

                                光通讯 >光源

                                所属品牌:

                                KST

                                数据单下载
                                产品简介

                                产品特征
                                超厚的热氧化层硅片:在平面光波导(AWG)制作过程中,处于最底层的SiO2膜被称之为Undercladding层,它对AWG的工艺良率有至关重要的影响。KST公司生产的超厚热氧化层硅片,由于具有优异的表面洁净措施以及稳定的薄膜质量,占据了全球AWG市场的最大份额。


                                规格参数

                                项目

                                规格

                                膜厚

                                20um±5%(最大膜厚度)

                                面内均一性

                                ±0.5%

                                面间均一性

                                ±0.5%

                                折射率(@1550nm)

                                1.4458±0.0001

                                 

                                标准品一览

                                尺寸

                                晶圓厚度

                                熱氧化膜厚度

                                4inch

                                525um 1mm

                                15um、20um

                                6inch

                                625um 675um 1mm

                                15um、20um

                                8inch

                                725um

                                15um、20um

                                12inch

                                775um

                                15um

                                 

                                折射率面内分布表面粗度資料

                                 图片29.png

                                图片28.png


                                原厂介绍

                                图片24.png

                                 

                                作为日本首家设计并加工半导体及光通信用硅晶圆以及膜产品的公司,KST株式会社依赖领先的热氧化技术可以为客户提供超厚氧化膜的晶圆产品,这些产品能够帮助客户开发新型光通信及MEMS器件,并能够极大的提升量产良率。

                                 

                                相关产品推荐
                                询问表格
                                如有意向购买产品或者相关技术咨询,请联系我们
                                新利18体育|首頁(欢迎您)